FFKM je zaptivni materijal visokih performansi. Njegove odlične performanse omogućile su njegovoj primjeni da prodre u cijeli sistem proizvodnje poluvodičkih proizvoda. Među njima, FFKM brtveni prstenovi su jedan od glavnih potrošnih materijala potrebnih za proizvodnju integriranih kola.
strukturu i karakteristike performansi FFKM-a
FFKM je kopolimerizovan tetrafluoroetilenom (TFE), perfluoroalkil vinil eterom (PAVE) kao glavnim monomerima i malom količinom monomera tačke očvršćavanja (CSM). Kao što je prikazano na donjoj slici, svi atomi ugljika u polimeru Svi atomi vodika na gumi su zamijenjeni atomima fluora, što ga čini gumom koja uopće ne sadrži CH veze.
Glavne karakteristike performansi FFKM-a:
1) Fizička svojstva
Gustina FFKM je 1.9-2.0g/cm³. Njegova mehanička svojstva pri normalnim temperaturama su bliska onima fluorokaučuka (FKM) na bazi viniliden fluorida (VDF), ali su njegova mehanička svojstva pri visokim temperaturama bolja od fluorokaučuka.
2) Hemijska otpornost
U molekularnom lancu FFKM nema atoma vodonika, a CC veze su u osnovi okružene ljuskom sastavljenom od F atoma, pokazujući jaku kemijsku inertnost i čineći polimer značajno otpornim na kemikalije.
3) Otpornost na visoke i niske temperature
Radna temperatura FFKM-a je generalno 260~290 stepeni, i može se koristiti povremeno na visokim temperaturama od 316 stepeni. Budući da je veliki broj -OCF3 grupa uveden u grane lanaca molekula, poboljšana je fleksibilnost molekula i otpornost gume na niske temperature.
4) Otpor plazme
U okruženju plazme, pokazuje karakteristike proizvoda visoke čistoće i niske količine padavina, te može izdržati plazma bombardiranje dugo vremena.
fFKM-ove primjene u poluvodičima
U proizvodnji poluvodiča, pouzdanost elastomernih brtvi je kritična jer su obustave proizvodnje radi zamjene zaptivki izuzetno skupe. Kako bi se izbjegli potencijalni rizici, zahtjevi za čistoću i čistoću pečata su vrlo strogi. Istovremeno, zaptivke moraju biti sposobne da rade dugo vremena u okruženju visoke temperature, visokog vakuuma i korozivnih hemijskih gasova.
U smislu primjene poluvodiča, FFKM se uglavnom fokusira na:
1) Plinska zaptivka: U procesu proizvodnje poluvodiča, obrada i transport različitih plinova su od suštinskog značaja. FFKM O prsten se koristi za zaptivanje plinovoda, ventila i spojeva kako bi se osiguralo da plin ne curi i održala stabilnost procesa.
2) Jetkanje i čišćenje: Koraci jetkanja i čišćenja u poluprovodničkim procesima često uključuju upotrebu korozivnih medija kao što su jake kiseline ili alkalije. FFKM O prsten se široko koristi u dijelovima opreme koji su u kontaktu sa ovim medijima, kao što su komore za jetkanje, rezervoari za čišćenje, itd. zbog svoje odlične otpornosti na koroziju.
3) Transport tečnosti i hemikalija: U proizvodnji poluprovodnika potrebno je transportovati razne tečnosti i hemikalije, kao što su rastvori, rastvarači, tečnosti za čišćenje, itd. FFKM O prsten se može koristiti za zaptivanje komponenti opreme kao što su cevi, ventili i pumpe kako bi se osiguralo sigurnu isporuku medija.
4) Visokotemperaturno okruženje: Određeni koraci u poluprovodničkom procesu moraju biti izvedeni u okruženju visoke temperature, kao što je termička obrada, žarenje, itd. FFKM O-prstenovi imaju odličnu otpornost na visoke temperature i mogu održati svoju elastičnost i zaptivanje svojstva na visokim temperaturama.
5) Tretman ultra čiste vode: U proizvodnji poluprovodnika ultračista voda se koristi za čišćenje i pročišćavanje opreme i materijala. FFKM O-prstenovi se široko koriste za brtvljenje opreme za tretman ultra čiste vode kako bi se spriječio ulazak nečistoća i zagađivača.
Zbog visoke cijene FFKM gumenih sirovina, radni uvjeti u kojima se obično koriste FFKM brtve su izuzetno teški. U ovim teškim radnim uslovima, druge gume su sklone koroziji, bubrenju, rastvaranju, starenju i stvrdnjavanju, itd., što dovodi do kvara zaptivanja i stoga ne može ispuniti zahteve za zaptivanje. Zbog svoje odlične otpornosti na koroziju i otpornosti na visoke temperature, FFKM guma ne samo da može zadovoljiti zahtjeve za zaptivanje u teškim radnim uvjetima, već i povećati vijek trajanja zaptivki i smanjiti troškove održavanja kupaca.
